|
|
Магнитные системы для магнетронов установок напыления
выпускаются как для круглых магнетронов, с диаметром
мишени до 100 мм, так и для протяженных, с длиной мишени
от 145 до 800 мм. и шириной мишени 80 или 100 мм.
Толщина мишени может составлять до 20 мм на протяженных
магнетронах и до 10 мм на круглых.
Выпускаемые магнитные системы выпускаются на основе
высокоэнергетических постоянных магнитов системы
неодим-железо-бор или системы самарий-кобальт в
зависимости от рабочей температуры магнетрона. Магнитные
материалы .используемые в магнитных системах имеют
низкий коэффициент температурной стабильности, т.е.
минимальные изменения магнитной индукции при изменении
температуры.
|
|